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工作原理
若用戶所需氮氣指標大于99.99%時，在HTN制氮設備的基礎上應配置純化設備。經(jīng)變壓吸附(PSA)系統(tǒng)制得的原料氮氣（≤2%的殘氧）與少量氫氣混合后，在填裝有催化劑的反應器中殘氧與氫反應生成水蒸氣，反應方程式為2H2+O2→2H2O+熱，隨后經(jīng)過后冷卻器，使大部分水蒸氣冷凝下來，并經(jīng)過高效水分離器或冷干機除去大部分冷凝水，然后進入吸附式干燥器，使產(chǎn)品氣露點最低達到-70℃，產(chǎn)品氣純度通過分析儀連續(xù)進行在線監(jiān)測。
純化流程示意圖
技術指標
氮氣產(chǎn)量：10~1000Nm3/h
氮氣純度：≥99.9995%
露點：-60℃~-70℃
氧含量：≤5.0ppm
使用范圍：特別適用需要氮、氫氣，如半導體、熱處理行業(yè)，即需要高純氮氣和適量氫氣，能使產(chǎn)品更光亮。可根據(jù)客戶要求定制全自動加氫流程及氮氫自動配比混氣設備。
HTH加氫型氮氣純化裝置參數(shù)表
|
型號/規(guī)格 |
處理氣量(Nm3/h) |
耗氫量 (Nm3/min) |
冷卻水 (t/h) |
裝機功率 |
|
HTH-10 |
11 |
0.22 |
0.5 |
0.4 |
|
HTH-20 |
22 |
0.5 |
0.6 |
0.6 |
|
HTH-30 |
33 |
0.73 |
0.8 |
0.8 |
|
HTH-40 |
45 |
1.0 |
1.0 |
1.0 |
|
HTH-60 |
65 |
1.5 |
1.1 |
1.25 |
|
HTH-80 |
88 |
2.0 |
1.2 |
1.35 |
|
HTH-100 |
110 |
2.2 |
1.3 |
1.5 |
|
HTH-150 |
165 |
3.3 |
1.4 |
1.7 |
|
HTH-180 |
190 |
4.0 |
1.5 |
2.2 |
|
HTH-200 |
220 |
4.5 |
1.5 |
2.5 |
|
HTH-300 |
330 |
6.6 |
2.1 |
3.1 |
|
HTH-400 |
450 |
9.0 |
2.4 |
3.7 |
|
HTH-500 |
550 |
11.0 |
2.9 |
4.5 |
|
HTH-600 |
650 |
13.3 |
3.2 |
5.8 |
|
HTH-800 |
880 |
18.0 |
3.5 |
8.0 |
|
HTH-1000 |
1100 |
22.5 |
4.8 |
9.7 |
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